Zyron - Zyron

Zyron je registrovaná ochranná známka pro speciální plyny prodávané globálnímu elektronickému průmyslu společností DuPont.

Dějiny

Freon byla použita jako původní značka pro elektronické plyny vyráběné a prodávané společností DuPont. S vyčerpáním ozónová vrstva a následující postupné vyřazování z chlorfluoruhlovodík (CFC) plynné sloučeniny, společnost rebranded tuto produktovou řadu odlišit od chladivo plyny, které používaly stejnou značku značky Freon.

Název byl vyvinut v říjnu 1991 zaměstnanci společnosti DuPont Paul Bechly a Dr. Nicholas Nazarenko, byl poprvé použit v obchodě 12. června 1992 a stal se registrovanou ochrannou známkou společnosti DuPont v roce 1993.[1]

Systém pojmenování

Systém pojmenování produktů Zyron vyvinuli také Bechly a Nazarenko v říjnu 1991. Systém je založen na historickém průmyslovém systému číslování fluorovaných alkanů.[2] k identifikaci chemické sloučeniny, následované (N) příponou, která specifikuje čistotu produktu. Systém pojmenování nebyl záměrně chráněn ochrannou známkou, aby bylo možné průmyslové přijetí.

Jako příklad pro Zyron 116 N5: 116 představuje sloučeninu hexafluorethan a N5 představuje „5 devět“ nebo čistotu 99,999%.

Jako příklad pro Zyron 23 N3 23 představuje sloučeninu trifluormethan a N3 představuje čistotu „3 devět“ nebo 99,99%.

produkty

Zyron 116 N5 (hexafluorethan )

Zyron 318 N4 (oktafluorcyklobutan )

Zyron 23 N5 (trifluormethan )

Zyron 23 N3 (trifluormethan )

Zahrnuty historické produkty: Zyron 14 (tetrafluormethan ), Zyron 32 (difluormethan ), Zyron 125 (pentafluorethan ) a Zyron NF3 (fluorid dusitý ).

Aplikace

Primárními aplikacemi těchto plynů pro elektronický průmysl jsou leptání křemíková destička a čištění chemická depozice par komorové nářadí.[3] Jedná se o všechny aplikace produktů na bázi plazmy, kde je produkt při použití v podstatě zničen.

Alternativní produkty řady Zyron pro různé aplikace v elektronice zahrnují chemické sloučeniny HCl, BCI3, CF4, ClF3, Ch2F2, GeH4, C4F6, NF3, C5F8, PH3, C3H6, SiH4 a WF6.[4]


Ve zprávách

Viz také

Reference

  1. ^ Registrace ochranné známky USPTO # 1772141
  2. ^ Schéma číslování látek poškozujících ozonovou vrstvu a jejich náhražek
  3. ^ Elektronické plyny DuPont Zyron pro aplikace v plazmovém procesu
  4. ^ Seznam speciálních plynů společnosti Air Products pro polovodičový průmysl

externí odkazy