Trichlorsilan - Trichlorosilane

Trichlorsilan

Jména
Název IUPAC trichlorsilan
Ostatní jména silyl trichlorid, silicochloroform
Identifikátory
Číslo CAS	10025-78-2 Y
3D model (JSmol )	Interaktivní obrázek
ChemSpider	23196 Y
Informační karta ECHA	100.030.026
Číslo ES	233-042-5
PubChem CID	24811
Číslo RTECS	VV5950000
UNII	QZY2645L6V N
UN číslo	1295
Řídicí panel CompTox (EPA)	DTXSID4029301
InChI InChI = 1S / Cl3HSi / C1-4 (2) 3 / h4H Y Klíč: ZDHXKXAHOVTTAH-UHFFFAOYSA-N Y InChI = 1 / Cl3HSi / C1-4 (2) 3 / h4H Klíč: ZDHXKXAHOVTTAH-UHFFFAOYAH
ÚSMĚVY Cl [SiH] (Cl) Cl
Vlastnosti
Chemický vzorec	HCl3Si
Molární hmotnost	135,45 g / mol
Vzhled	bezbarvá kapalina
Hustota	1,342 g / cm3
Bod tání	−126,6 ° C (−195,9 ° F; 146,6 K)
Bod varu	31,8 ° C (89,2 ° F; 304,9 K)
Rozpustnost ve vodě	hydrolýza
Nebezpečí
Bezpečnostní list	ICSC 0591
Klasifikace EU (DSD) (zastaralý)	Vysoce hořlavý (F +) Škodlivé (Xn) Žíravý (C)
R-věty (zastaralý)	R12, R14, R17, R20 / 22, R29, R35
S-věty (zastaralý)	(S2), S7 / 9, S16, S26, S36 / 37/39, S43, S45
NFPA 704 (ohnivý diamant)	4 3 2 Ž
Bod vzplanutí	−27 ° C (−17 ° F; 246 K)
Samovznícení teplota	185 ° C (365 ° F; 458 K)
Výbušné limity	1.2–90.5%
Související sloučeniny
Související chlorosilany	Chlorsilan Dichlorsilan Dichlormethylsilan Chlorodimethylsilan Chlorid křemičitý
Související sloučeniny	Trifluorosilan Tribromosilan Chloroform
Pokud není uvedeno jinak, jsou uvedeny údaje o materiálech v nich standardní stav (při 25 ° C [77 ° F], 100 kPa).
N ověřit (co je YN ?)
Reference Infoboxu

Trichlorsilan je anorganická sloučenina se vzorcem HCl₃Si. Je to bezbarvá těkavá kapalina. Vyčištěný trichlorsilan je hlavním předchůdcem ultračistého křemíku v polovodič průmysl. Ve vodě se rychle rozkládá za vzniku a silikon polymer, zatímco vydává kyselina chlorovodíková. Díky své reaktivitě a široké dostupnosti se často používá při syntéze křemíku organický sloučeniny.^[1]

Výroba

Trichlorsilan se vyrábí zpracováním v prášku metalurgický křemík s vyfukováním chlorovodík při 300 ° C. Rovněž se vyrábí vodík, jak je popsáno v dokumentu chemická rovnice:

Si + 3 HCl → HCl₃Si + H₂

Lze dosáhnout výtěžku 80-90%. Hlavními vedlejšími produkty jsou chlorid křemičitý (chemický vzorec SiCl₄), hexachlorodisilan (Si₂Cl₆) a dichlorsilan (H₂SiCl₂), ze kterého lze trichlorsilan oddělit destilace.

Cisternové auto trichlorsilanu (modrý diamant znamená „za mokra nebezpečný“)

Vyrábí se také z chloridu křemičitého:^[2]

Si + 3 SiCl₄ + 2 H₂ → 4 HCl₃Si

Aplikace

Trichlorsilan je základní složka používaná při výrobě čištěného polykrystalický křemík.

HCl₃Si → Si + HCl + Cl₂

Složka v hydrosilylaci

Přes hydrosilylace, trichlorsilan je předchůdcem dalších užitečných organokřemičitých sloučenin:

RCH = CH₂ + HSiCl₃ → RCH₂CH₂SiCl₃

Mezi užitečné produkty této nebo podobných reakcí patří oktadecyltrichlorsilan (OTS), perfluoroktyltrichlorsilan (PFOTCS) a perfluorodecyltrichlorsilan (FDTS). Tato činidla se při tvorbě používají v povrchových vědách a nanotechnologiích Samostatně sestavené monovrstvy. Tyto vrstvy obsahující fluor snižují povrchovou energii a snižují ulpívání. Tento efekt se obvykle využívá jako povlak pro MEMS a mikrofabrikované známky pro a nanoimprint litografie (NIL) a in vstřikování nástroje.^[3]

Organická syntéza

Trichlorsilan je činidlo při přeměně benzoových kyselin na deriváty toluenu. V prvním kroku reakce ve dvou reakčních nádobách se karboxylová kyselina nejprve převede na trichlosilylbenzylovou sloučeninu. Ve druhém kroku se benzylový silylový derivát převádí na toluenový derivát s bází.^[4]

Reference

• Polovodiče: Křemík: Výroba substrátu: Polykrystalický křemík Výroba