Chemické leptání za pomoci kovu - Metal assisted chemical etching

Chemické leptání za pomoci kovu (také známý jako MACE) je proces mokré chemikálie leptání z polovodiče (hlavně křemík ) s použitím a kov katalyzátor, obvykle uloženy na povrchu a polovodič ve formě tenkého filmu. Oba ušlechtilé kovy jako zlato[1], Platina[2], palladium[3], a stříbrný[4] a obecné kovy jako žehlička[5], nikl[6][7], a měď[8] může působit jako katalyzátor v průběhu.

Aplikace MACE

Porézní křemík

Chemické leptání za pomoci kovu umožňuje výrobu porézní křemík s fotoluminiscence.[9]

Černý křemík

Černý křemík je křemík s upraveným povrchem a je typem porézní křemík. Existuje několik děl[je zapotřebí objasnění ] na získání černý křemík pomocí technologie MACE. Hlavní aplikací černého křemíku je solární energie.[6][7]

Reference

  1. ^ Mikhael, Bechelany a kol. „Nové křemíkové architektury chemickým leptáním za pomoci zlata.“ Aplikované materiály a rozhraní ACS 3.10 (2011): 3866-3873.
  2. ^ Tsujino, Kazuya a Michio Matsumura. „Spirálové nano díry vrtané v křemíku mokrým chemickým leptáním za použití nanočástic platiny jako katalyzátoru.“ Electrochemical and Solid-State Letters 8.12 (2005): C193-C195.
  3. ^ Chen, Jun-Ming a kol. „Vlastní tvorba porézních Si nanodrátů typu p pomocí chemického leptání za pomoci palladia.“ Applied Surface Science 392 (2017): 498-502.
  4. ^ Lee, Jung-In a Soojin Park. „Vysoce výkonné porézní anody oxidu křemičitého syntetizované chemickým leptáním za pomoci kovu.“ Nano Energy 2.1 (2013): 146-152.
  5. ^ Loni, A. a kol. „Extrémně vysoký povrchový porézní křemíkový prášek metalurgické kvality připravený leptáním za pomoci kovu.“ Electrochemical and Solid-State Letters 14.5 (2011): K25-K27.
  6. ^ A b Volovliková, Olga V. a kol. „Vliv režimů leptání na odraz černých křemíkových vrstev vytvářených chemickým leptáním za pomoci Ni.“ Klíčové technické materiály. Sv. 806. Trans Tech Publications Ltd, 2019.
  7. ^ A b Azeredo, B. P., et al. „Křemíkové nanodráty s kontrolovaným profilem bočnice a drsností vyrobené pomocí tenkovrstvého odvlhčení a chemického leptání za pomoci kovu.“ Nanotechnology 24.22 (2013): 225305.
  8. ^ Qiu, Teng a Paul K. Chu. „Samoselektivní bezproudové pokovování: Přístup k výrobě funkčních 1D nanomateriálů.“ Věda o materiálech a inženýrství: R: Reports 61.1-6 (2008): 59-77.
  9. ^ Li, Xiuling a P. W. Bohn. „Chemickým leptáním za pomoci kovu v HF / H 2 O 2 vzniká porézní křemík.“ Applied Physics Letters 77.16 (2000): 2572-2574.