Etec Systems, Inc. - Etec Systems, Inc.

Etec Systems
OsudZakoupeno uživatelem Aplikované materiály
Založený1970
Zaniklý2005
produktyrastrovací elektronové mikroskopy
nástroje pro litografii laserovým paprskem

Etec Systems byl americký výrobce rastrovací elektronové mikroskopy, litografie elektronového paprsku nástroje a laserová litografie nástroje od roku 1970 do roku 2005. Bylo umístěno v Hayward, Kalifornie, a Hillsboro, Oregon.

Historie společnosti

Bývalá budova Etec v Hillsboro v Oregonu

Společnost Etec Corporation z Haywardu v Kalifornii byla založena v roce 1970 jako producent společnosti rastrovací elektronové mikroskopy (SEM), ale později se stal producentem litografie elektronového paprsku nástroje a výroba SEM byla ukončena.

Etec se později spojil s ATEQ z Beaverton, Oregon (Oblast Portlandu), která vyrobila laserová litografie nástroje. Spojená společnost byla pojmenována „Etec Systems“ a nabídla portfolio litografie založené na elektronových i laserových paprskech. Tyto produkty se zaměřovaly na fotomasky a optické sítě používané při výrobě integrovaných obvodů. V roce 1999 byla část společnosti Beaverton v Oregonu přesunuta do Hillsboro v Oregonu.

Společnost Etec zakoupila společnost Aplikované materiály v roce 2000 a organizována v rámci společnosti Applied Materials jako samostatná obchodní skupina. V roce 2000 zaměstnávala společnost Etec v Haywardu 600 pracovníků.[1]

V roce 2002 společnost Applied Materials oznámila, že reviduje plán odstavení Etec.[2] V říjnu 2005 byla společnost Etec Systems absorbována do své mateřské společnosti Applied Materials.[3]

produkty

Skenovací elektronové mikroskopy

Společnost Etec, která byla původně založena v roce 1970, vyráběla skenovací elektronové mikroskopy velmi vysoké kvality; mnoho nástrojů stále funguje dobře i o 30 let později.[Citace je zapotřebí ] Autoscan, navržený Nelsonem Yewem, vytvořil vynikající snímky, které překonaly moderní nástroje vystavené digitálnímu šumu a dalším problémům.

Vzhledem k tomu, že se MEBES stal hlavním produktem, společnost koupila společnost Perkin Elmer a výroba SEM byla ukončena.

Nástroje pro litografii elektronovým paprskem

Nějaký čas po roce 2002 byla ukončena produktová řada, která představovala původní nabídku Etec (MEBES - Manufacturing Electron Beam Exposure System). Většina nástrojů MEBES III byla vyřazena z provozu ve prospěch laserových litografických nástrojů Etec CORE a ALTA, které mají vyšší propustnost a používají ekologičtější rezistenci typu IP3500, která nevyžaduje vývojový proces založený na rozpouštědlech. V současné době však na celém světě stále existuje řada MEBES III a IV.

Nástroje pro litografii laserovým paprskem

Zakoupením společnosti Etec v roce 2005 pokračuje řada laserových litografických nástrojů Etec ve vývoji a výrobě společnosti Applied Materials. Švédská firma Micronic AB a německá firma Heidelberg Instruments je konkurentem řešení pro výrobu masek na bázi laseru. Poptávka po nástroji laserové litografie Applied Material však umožnila, aby byl stále nejrozšířenějším a nejpoužívanějším nástrojem v odvětví fotomasek.

Reference

  1. ^ „Archivovaná kopie“ (PDF). Archivovány od originál (PDF) dne 01.10.2011. Citováno 2011-11-13.CS1 maint: archivovaná kopie jako titul (odkaz)
  2. ^ LaPedus, Mark (11. března 2002). „Použitý„ revizní “plán na ukončení provozu nástroje s elektronickým paprskem, říkají zdroje“.
  3. ^ „Applied Materials exits photomask business“. www.laserfocusworld.com. Archivovány od originál dne 7. 4. 2018. Citováno 2018-04-06.

externí odkazy

Souřadnice: 45 ° 32'51 ″ severní šířky 122 ° 53'53 "W / 45,5474 ° N 122,898 ° W / 45.5474; -122.898