Okno procesu - Process window - Wikipedia

The okno procesu je graf s řadou parametrů pro konkrétní výrobní proces, který přináší definovaný výsledek. V takovém grafu je obvykle vykresleno více parametrů s centrální oblastí, kde se proces chová dobře, zatímco vnější hranice definují oblasti, kde se proces stává nestabilním nebo vrací nepříznivý výsledek. Statistické vyhodnocení výkonu procesu se dále provádí výpočtem souvisejícího Rejstřík okna procesu.

Aplikace

Typické aplikace najdete v fotolitografie ^[1] kde je vynesena odezva fotorezistu na parametry, jako je teplota, intenzita záření, kritická dimenze a úhel bočnice struktur atd., ve srovnání s optickým parametrem, jako je numerická clona optimalizovat design expozičního nástroje nebo dosáhnout reprodukovatelného výsledku a vysokého výtěžku.

Reference