Neutronové hloubkové profilování - Neutron depth profiling
Neutronové hloubkové profilování (NDP) je technika blízké povrchové analýzy, která se běžně používá k získání profilů koncentrace jako funkce hloubky pro určité technologicky důležité světelné prvky téměř v jakémkoli podkladu. Techniku poprvé navrhl Ziegler et al. určit koncentrační profily bór nečistoty v křemík substráty a později Biersack a spolupracovníci vylepšili většinu svých stávajících schopností.
Hloubka neutronu
V NDP, a tepelný nebo zima neutron paprsek prochází materiálem a interaguje s ním izotopy které emitují monoenergetiku nabité částice na absorpce neutronů; buď a proton nebo alfa a zpětný ráz jádro. Protože je pravděpodobné, že nabité částice budou emitovány v libovolném směru, reakce kinematika jsou přímočaré. Protože se používají nízkoenergetické neutrony, nedochází k významnému přenosu hybnosti z neutronového paprsku na substrát a analýza je prakticky nedestruktivní. Jak se nabité částice pohybují směrem k povrchu, rychle se zpomalují, zejména interakcí s elektrony substrátu. Množství ztráty energie přímo souvisí s tloušťkou, kterou částice pronikla. Hloubku reakčního místa lze zjistit pomocí brzdná síla korelace.
Profilování
Obvykle byly zbytkové energie nabitých částic a jader zpětného rázu měřeny pomocí a detektor nabitých částic křemíku; nejčastěji detektor povrchové bariéry (SBD) nebo pasivovaný implantovaný planární křemík (PIPS). V této konfiguraci je polovodičový detektor umístěn naproti povrchu analyzovaného vzorku a je získáno energetické spektrum nabitých částic emitovaných reakcí indukovanou neutrony.
Viz také
Reference
- Ziegler, J. F .; Cole, G. W .; Baglin, J. E. E. (1972). "Technika pro stanovení koncentračních profilů nečistot boru v substrátech". Journal of Applied Physics. Publikování AIP. 43 (9): 3809–3815. doi:10.1063/1.1661816. ISSN 0021-8979.
- D. Fink, J.P.Biersack a H. Liebl, in Iontová implantace: Zařízení a techniky, (1983), H. Ryssel a H. Glawischnig, eds., Springer-Verlag, Berlín, str. 318–326.
- Downing, R.G .; Fleming, R.F .; Langland, J. K.; Vincent, D.H. (1983). "Neutronové hloubkové profilování v Národním úřadu pro standardy". Jaderné přístroje a metody ve fyzikálním výzkumu. Elsevier BV. 218 (1–3): 47–51. doi:10.1016/0167-5087(83)90953-5. ISSN 0167-5087.