Ethylendiamin pyrokatechol - Ethylenediamine pyrocatechol

Ethylendiamin pyrokatechol (EDP), také známý jako ethylendiamin-pyrokatechol-voda (EPW), je anizotropní leptací řešení pro křemík. Typická formulace se skládá z ethylendiamin, pyrokatechol, pyrazin a voda. Je karcinogenní a velmi korozivní. Používá se hlavně ve výzkumných laboratořích a nepoužívá se v běžných procesech výroby polovodičů.

Reference

• Mikrofabrikace: leptání za mokra, University of Washington, College of Engineering

Tento organická chemie článek je a pahýl. Wikipedii můžete pomoci pomocí rozšiřovat to.

Tento článek týkající se inženýrství je pahýl. Wikipedii můžete pomoci pomocí rozšiřovat to.