Virtuální metrologie - Virtual metrology - Wikipedia

Tento vědecký článek je pahýl. Wikipedii můžete pomoci pomocí rozšiřovat to.

v výroba polovodičů, virtuální metrologie odkazuje na metody pro predikci vlastností a oplatka na základě parametrů stroje a údajů senzorů ve výrobním zařízení, aniž by bylo prováděno (nákladné) fyzické měření vlastností destičky. K provedení takového úkolu se používají statistické metody, jako je klasifikace a regrese. V závislosti na přesnosti těchto virtuálních dat je lze použít při modelování pro jiné účely, jako je predikce výnosu, preventivní analýza atd. Tato virtuální data jsou užitečná pro techniky modelování, které jsou nepříznivě ovlivněny chybějícími daty. Další možností zpracování chybějících dat je použití imputačních technik v datové sadě, ale přesnější metodou může být v mnoha případech virtuální metrologie.

Mezi příklady virtuální metrologie patří:

předpověď nitridu křemíku ( ${ displaystyle Si_ {3} N_ {4}}$ ) tloušťka vrstvy v proces chemické depozice par (CVD), pomocí vícerozměrná regrese metody;^[1]
predikce kritické dimenze v fotolitografie pomocí víceúrovňových a regulace přístupy;^[2]
predikce šířky vrstvy v leptání.^[3]

Reference

^ Purwins, Hendrik; Bernd, Barak; Nagi, Ahmed; Engel, Reiner; Hoeckele, Uwe; Kyek, Andreas; Cherla, Srikanth; Lenz, Benjamin; Pfeifer, Guenther; Weinzierl, Kurt (2014). „Regresní metody pro virtuální metrologii tloušťky vrstvy při depozici chemických par“ (PDF). Transakce IEEE / ASME na mechatronice. 19 (1): 1–8. doi:10.1109 / TMECH.2013.2273435. S2CID 12369827.
^ Susto, Gian Antonio; Pampuri, Simone; Schirru, Andrea; Beghi, Alessandro; De Nicolao, Giuseppe (01.01.2015). „Vícekroková virtuální metrologie pro výrobu polovodičů: přístup založený na víceúrovňových a regularizačních metodách“. Počítače a operační výzkum. 53: 328–337. doi:10.1016 / j.cor.2014.05.008.
^ Susto, G. A .; Johnston, A. B .; O'Hara, P. G .; McLoone, S. (01.08.2013). Virtuální metrologie umožnila predikci raných fází pro lepší řízení vícefázových výrobních procesů. 2013 IEEE International Conference on Automation Science and Engineering (CASE). 201–206. doi:10.1109 / CoASE.2013.6653980. ISBN 978-1-4799-1515-6. S2CID 15432891.

[1] Purwins, Hendrik; Bernd, Barak; Nagi, Ahmed; Engel, Reiner; Hoeckele, Uwe; Kyek, Andreas; Cherla, Srikanth; Lenz, Benjamin; Pfeifer, Guenther; Weinzierl, Kurt (2014). „Regresní metody pro virtuální metrologii tloušťky vrstvy při depozici chemických par“ (PDF). Transakce IEEE / ASME na mechatronice. 19 (1): 1–8. doi:10.1109 / TMECH.2013.2273435. S2CID 12369827.

[2] Susto, Gian Antonio; Pampuri, Simone; Schirru, Andrea; Beghi, Alessandro; De Nicolao, Giuseppe (01.01.2015). „Vícekroková virtuální metrologie pro výrobu polovodičů: přístup založený na víceúrovňových a regularizačních metodách“. Počítače a operační výzkum. 53: 328–337. doi:10.1016 / j.cor.2014.05.008.

[3] Susto, G. A .; Johnston, A. B .; O'Hara, P. G .; McLoone, S. (01.08.2013). Virtuální metrologie umožnila predikci raných fází pro lepší řízení vícefázových výrobních procesů. 2013 IEEE International Conference on Automation Science and Engineering (CASE). 201–206. doi:10.1109 / CoASE.2013.6653980. ISBN 978-1-4799-1515-6. S2CID 15432891.

[1]

[2]

[3]