Ultrafialové tepelné zpracování - Ultraviolet thermal processing

Ultrafialové tepelné zpracování nebo UVTP je název procesu stabilizace ultrafialovým světlem dielektrikum filmy používané k izolaci polovodičů.

Popis

Polovodič filmy potřebují nízké dielektrické konstanty (hodnoty k), aby byly optimální tepelná vodivost, ujistit se škálování polovodičů. Novější dielektrické filmy používané k izolaci moderních čipů mohou být snadno poškozeny, což způsobí ztrátu izolační schopnosti. Specializovaná ošetření aplikovaná ultrafialovým světlem zlepšují výkon čipu.[1] Wolframové halogenové žárovky jsou zdroje používané pro tradiční rychlé tepelné zpracování.[2][3]

Reference

  1. ^ Gupta, Nishant (prosinec 2012). „Fototermické zpracování polovodičových vláken a tenkých vrstev“. Všechny disertační práce. clemson.edu. Bibcode:2012PhDT ....... 211G. Citováno 2016-05-03.
  2. ^ Singh, R .; Cherukuri, K. C .; Vedula, L .; Rohatgi, A .; Narayanan, S. (1996-05-13). "Nízkoteplotní tvorba mělkého spojení pomocí vakuových ultrafialových fotonů během rychlého tepelného zpracování". Aplikovaná fyzikální písmena. scitation.aip.org. 70 (13): 1700–1702. doi:10.1063/1.118674.
  3. ^ Rychlé tepelné zpracování pro budoucí polovodičová zařízení. Elsevier Science B.V. 2003-04-02. ISBN  9780080540269. Citováno 2016-05-04.