Hrubovací čerpadlo - Roughing pump
A hrubovací čerpadlo je jakýkoli vakuová pumpa (obvykle mechanické), které se používají k počáteční evakuaci vakuového systému, jako první fáze k dosažení vysoké vakuum nebo ultra vysoké vakuum. Termín „hrubovací čerpadlo“ je odvozen z rozsahu vakua, ve kterém pracuje, „hrubého vakua“ nad 1 x 10−3 torr (0.1 Pa ). Čerpadla, která pracují v rozsahu vysokého vakua, obvykle nepracují nebo pracují pouze neefektivně atmosférické tlaky, zatímco čerpadla, která pracují efektivně za atmosférického tlaku, obvykle nemohou vytvářet vakuum nižší než přibližně 1 x 10−3 torr.
Jedním z důvodů pro výběr hrubovacího čerpadla je, zda toto čerpadlo používá mazací olej který je vystaven vakuu. Tato obava z „zpětného toku uhlovodíků“, kdy se olej z čerpadla jako plyn dostává do vakuové komory, vedla na trhu k návrhům bezolejových čerpadel.
Typy
Dva hlavní typy hrubovacích čerpadel jsou hrubovací čerpadla s olejovým těsněním a suchá hrubovací čerpadla. V rámci těchto dvou kategorií jsou různé druhy návrhů s rozdíly mezi nimi na základě problémů s údržbou, počátečních nákladů, životnosti čerpadla a úrovně vakua. Na začátku výroby byla suchá čerpadla podstatně dražší než čerpadla na bázi oleje, avšak postupem času se nákladová mezera uzavřela.
Výhody a nevýhody každého z nich jsou následující:
Olejová čerpadla | ||
---|---|---|
Typ | Výhody | Nevýhody |
Rotační lopatka | Nízký mezní tlak Nízké náklady Dlouhá životnost čerpadla | Zpětný olej Produkujte nebezpečný odpad |
Rootes Lobe | Velmi vysoká rychlost čerpání | Častá údržba Vyžaduje proplachovací plyn Vyžaduje pomocné čerpadlo Musí být absolutně horizontální |
Rotační píst | Vysoká hlasitost Nízké náklady | Hluk Vibrace Bezpečnostní ventil |
Suchá hrubovací čerpadla | ||
Svitek | Čistý Nízký „suchý“ konečný tlak Snadno opravitelný Klid Vyvinutý z kompresoru klimatizace, takže technologie je dobře známá | Omezená životnost ložiska Omezená životnost svitku Propustný pro malé plyny Není hermeticky uzavřeno Vyčistěte pouze aplikace |
Membrána | Nízké náklady Klid Snadný servis | Nízká rychlost čerpání Vysoký konečný tlak Je nutný častý servis |
Hook & Claw | Žádné zpětné streamování Nízký mezní tlak | Drahý |
Šroubový rotor | Nízký mezní tlak Méně údržby než Hook & Claw | Drahý |
Suchý píst | Nízký mezní tlak | Drahý |
Sorpce | Čistý Žádné pohyblivé části | Vyžaduje Tekutý dusík Vyžaduje regenerace Omezená kapacita |
Zdroje
- Základy vakuového systému, Hasina Jamal, University of Maryland
Reference
- Porovnání hrubovacích čerpadel, Roy Schmaus, University of Alberta. Archivovány od originál 27. května 2006.