Přepočítávání - Resputtering - Wikipedia

Přepočítávání zahrnuje opětovné emise materiálu, např. SiO₂, uloženo uživatelem prskání Během depozice.^[1] Podobně jako rozprašování je opětovné vyzařování způsobeno iontovým bombardováním uloženého materiálu. Technika resputtering byla poprvé publikována L.I. Maissel a kol. v Journal of Applied Physics (Leden 1965, s. 237) a byl povolán Předpjaté rozprašování.^[2]

Reference

^ Gregoire, J. M .; Lobovský, M. B .; Heinz, M. F .; DiSalvo, F. J .; van Dover, R. B. (26. listopadu 2007). "Faktory přepočítávání a určování složení ve společně uložených filmech". Fyzický přehled B. 76 (19): 195437. Bibcode:2007PhRvB..76s5437G. doi:10.1103 / PhysRevB.76.195437.
^ Kester, Daniel J .; Messier, Russell (NaN). „Makro-účinky resputeringu v důsledku negativního iontového bombardování rostoucích tenkých vrstev“. Journal of Materials Research. 8 (8): 1928–1937. Bibcode:1993JMatR ... 8,1928 tis. doi:10.1557 / JMR.1993.1928. ISSN 2044-5326. Citováno 24. října 2019. Zkontrolujte hodnoty data v: | datum = (Pomoc)

Tento článek týkající se technologie je pahýl. Wikipedii můžete pomoci pomocí rozšiřovat to.

[1] Gregoire, J. M .; Lobovský, M. B .; Heinz, M. F .; DiSalvo, F. J .; van Dover, R. B. (26. listopadu 2007). "Faktory přepočítávání a určování složení ve společně uložených filmech". Fyzický přehled B. 76 (19): 195437. Bibcode:2007PhRvB..76s5437G. doi:10.1103 / PhysRevB.76.195437.

[2] Kester, Daniel J .; Messier, Russell (NaN). „Makro-účinky resputeringu v důsledku negativního iontového bombardování rostoucích tenkých vrstev“. Journal of Materials Research. 8 (8): 1928–1937. Bibcode:1993JMatR ... 8,1928 tis. doi:10.1557 / JMR.1993.1928. ISSN 2044-5326. Citováno 24. října 2019. Zkontrolujte hodnoty data v: | datum = (Pomoc)

[1]

[2]