Vzdálená plazma - Remote plasma

Vzdálený plazmový systém.

A vzdálená plazma (taky následná plazma nebo dosvitová plazma) je zpracování plazmy metoda, při které dochází k interakci plazmy a materiálu v místě vzdáleném od plazmy v plazmový dosvit.^[1]^[2]

Viz také

Reference

^ Tommi Kääriäinen; David Cameron; Marja-Leena Kääriäinen; Arthur Sherman (17. května 2013). Depozice atomové vrstvy: principy, charakteristiky a nanotechnologické aplikace. Wiley. str. 21–. ISBN 978-1-118-74742-1.
^ Alexander Fridman (5. května 2008). Chemie plazmy. Cambridge University Press. str. 532–. ISBN 978-1-139-47173-2.

Tento materiál související článek je a pahýl. Wikipedii můžete pomoci pomocí rozšiřovat to.

[KääriäinenCameron2013-1] Tommi Kääriäinen; David Cameron; Marja-Leena Kääriäinen; Arthur Sherman (17. května 2013). Depozice atomové vrstvy: principy, charakteristiky a nanotechnologické aplikace. Wiley. str. 21–. ISBN 978-1-118-74742-1.

[Fridman2008-2] Alexander Fridman (5. května 2008). Chemie plazmy. Cambridge University Press. str. 532–. ISBN 978-1-139-47173-2.

[1]

[2]