Vzdálená plazma - Remote plasma

Vzdálený plazmový systém.
A vzdálená plazma (taky následná plazma nebo dosvitová plazma) je zpracování plazmy metoda, při které dochází k interakci plazmy a materiálu v místě vzdáleném od plazmy v plazmový dosvit.[1][2]
Viz také
- Chemická depozice par
- Corona léčba
- Seznam článků o aplikacích plazmy (fyzika)
- Fyzikální depozice par
- Aktivace plazmy
- Plazmová chemie
- Plazmové čištění
- Vazba aktivovaná plazmou
- Leptání reaktivními ionty
Reference
- ^ Tommi Kääriäinen; David Cameron; Marja-Leena Kääriäinen; Arthur Sherman (17. května 2013). Depozice atomové vrstvy: principy, charakteristiky a nanotechnologické aplikace. Wiley. str. 21–. ISBN 978-1-118-74742-1.
- ^ Alexander Fridman (5. května 2008). Chemie plazmy. Cambridge University Press. str. 532–. ISBN 978-1-139-47173-2.
![]() | Tento materiál související článek je a pahýl. Wikipedii můžete pomoci pomocí rozšiřovat to. |