Vzdálená plazma - Remote plasma

Vzdálený plazmový systém.

A vzdálená plazma (taky následná plazma nebo dosvitová plazma) je zpracování plazmy metoda, při které dochází k interakci plazmy a materiálu v místě vzdáleném od plazmy v plazmový dosvit.[1][2]

Viz také

Reference

  1. ^ Tommi Kääriäinen; David Cameron; Marja-Leena Kääriäinen; Arthur Sherman (17. května 2013). Depozice atomové vrstvy: principy, charakteristiky a nanotechnologické aplikace. Wiley. str. 21–. ISBN  978-1-118-74742-1.
  2. ^ Alexander Fridman (5. května 2008). Chemie plazmy. Cambridge University Press. str. 532–. ISBN  978-1-139-47173-2.