PROLITH - PROLITH
 | tento článek potřebuje další citace pro ověření. (Říjen 2020) (Zjistěte, jak a kdy odstranit tuto zprávu šablony) |
PROLITH (zkráceně z Positivní Resist Óptical LITHography) je a počítačový simulátor modelování optický a chemikálie aspekty fotolitografie. Chris Mack začal vyvíjet PROLITH poté, co začal pracovat v oblasti fotolitografie na NSA v roce 1983.
PROLITH byl poprvé vyvinut na IBM PC. Modely implementované softwarem byly založeny na práci, kterou provedl Rick Dill na IBM a Andy Neureuther na UC Berkeley, spolu s vlastními příspěvky Chrise Macka, jako je Mackův model.
Původně byl PROLITH rozdáván zdarma, zatímco NSA vyplácel plat Chrisi Mackovi.[1][2] V roce 1990 založil společnost FINLE Technologies pro komercializaci PROLITH. První komerční verze softwaru s názvem PROLITH / 2 byla vydána v červnu téhož roku. Použití PROLITH bylo snazší a jeho používání se rozšířilo o mnoho dalších aspektů litografické simulace.
Společnost FINLE Technologies koupila v únoru 2000 společnost KLA-Tencor, která nyní uvádí na trh PROLITH.