PMUT - PMUT

Piezoelektrické mikroskopické ultrazvukové snímače (PMUT) jsou MEMS -na základě piezoelektrický ultrazvukové měniče. Na rozdíl od objemových piezoelektrických měničů, které využívají pohyb desky v tloušťkovém režimu piezoelektrický keramický jako PZT nebo monokrystal PMN-PT, PMUT jsou založeny na ohybovém pohybu tenké membrány spojené s tenkým piezoelektrickým filmem, jako je např PVDF.[1][2][3][4][5] Ve srovnání s objemovými piezoelektrickými ultrazvukovými měniči může PMUT nabídnout výhody, jako je zvýšení šířka pásma, flexibilní geometrie, přírodní akustická impedance shoda s vodou, snížené požadavky na napětí, míchání různých rezonanční frekvence a potenciál pro integraci s podpůrnými elektronickými obvody, zejména pro miniaturizované vysokofrekvenční aplikace.

Reference

  1. ^ Trolier-McKinstry, Susan; P. Muralt (leden 2004). "Tenkovrstvá piezoelektrika pro MEMS". Journal of Electroceramics. 12 (1–2): 7. doi:10.1023 / B: JECR.0000033998.72845.51.
  2. ^ Hajati, Arman; et al. (2012). „Trojrozměrný mikroelektromechanický systém piezoelektrický ultrazvukový měnič“. Aplikovaná fyzikální písmena. 101 (25): 253101. doi:10.1063/1.4772469.
  3. ^ Muralt, Paul (prosinec 2005). "Piezoelektrické mikromechanické ultrazvukové měniče založené na tenkých vrstvách PZT". IEEE Trans Ultrasonics, Ferroelectrics. 52 (12): 2276. doi:10.1109 / TUFFC.2005.1563270.
  4. ^ Qiu, Yongqiang; et al. (2015). „Piezoelektrický mikromechanický ultrazvukový snímač (PMUT) pole pro integrované snímání, ovládání a zobrazování“. Senzory. 15 (4): 8020–41. doi:10,3390 / s150408020. PMC  4431219. PMID  25855038.
  5. ^ Brown, Lewis (listopad 2000). "Aspekty návrhu piezoelektrického polymerního ultrazvukového převodníku". IEEE Trans Ultrasonics, Ferroelectrics. 47 (6): 1377–1396. doi:10.1109/58.883527. PMID  18238684.