Centrum nano a mikro zařízení - Nano and Micro Devices Center
 | |
| Typ | Výzkumné centrum |
|---|---|
| Založeno | 2008 |
| Předseda | Robert Lindquist |
| Ředitel | John D. Williams |
Zaměstnanci univerzity | 10 |
Administrativní pracovníci | 6 |
| Postgraduální studenti | 16 |
| Umístění | , 34 ° 43'22 ″ severní šířky 86 ° 38'19 ″ Z / 34,72278 ° N 86,63861 ° WSouřadnice: 34 ° 43'22 ″ severní šířky 86 ° 38'19 ″ Z / 34,72278 ° N 86,63861 ° W |
| Kampus | University of Alabama v Huntsville hlavní kampus |
| webová stránka | http://nmdc.uah.edu |
The Centrum nano a mikro zařízení (NMDC) je výzkumné středisko umístěné v University of Alabama v Huntsville. Středisko tvoří páteř nanotechnologického výzkumu na univerzitě. Provozuje úroveň 4 čistý pokoj stejně jako několik dalších laboratorních zařízení.
Cíle
Cílem centra je efektivně integrovat odborné znalosti v elektrotechnickém, chemickém a materiálovém inženýrství, biologii, chemii a fyzice směrem k vývoji a výzkumu v oblasti mikroelektromechanických systémů (MEMS) a nanotechnologií.[1][2]
Zařízení
Středisko provozuje a čistý pokoj který je vybaven mikrofabrikačními stroji, které provádějí nanášení tenkých vrstev, fotolitografii, leptání za sucha i za mokra a metrologická měření. Provozuje také temnou místnost pro mokré leptání, galvanické pokovování a výrobu porézního křemíku. Zařízení využívají organizace se sídlem na severu Alabama. Procesy prováděné na takové úrovni čisté místnosti lze rozdělit na:[3]
- Litografie: procesy v této kategorii zahrnují konvenční UV-litografické techniky, elektronovou litografii a projekční litografii.
- Procesy ukládání materiálu: do této kategorie spadají procesy rozprašování, tepelné depozice par a galvanizace, další techniky pro ukládání biologických molekul a dvouvrstvých membrán zahrnují Langmuir-Blodgettovu techniku.
- Procesy odstraňování materiálu: zahrnují leptání za sucha, jako je leptání reaktivními ionty, nebo mokré, jako je anizotropní leptání křemíku v lázni KOH.
- Analýza a charakterizace povrchu: jako je mikroskopie atomové síly, skenovací elektronová mikroskopie, konfokální mikroskopie, elipsometrie, UV, IR a Ramanova spektroskopie, rentgenová spektroskopie a další techniky.
- Výpočetní