Regulátor hmotnostního průtoku - Mass flow controller

Interní blokové schéma
Mass Flow Control - Precizní Alicat Scientific Mass Flow Controller

A regulátor hmotnostního toku (MFC) je zařízení používané k měření a regulaci průtoku kapaliny a plyny.[1] Regulátor hmotnostního průtoku je navržen a kalibrován pro řízení konkrétního typu kapaliny nebo plynu při určitém rozsahu průtoku. MFC může být zadána požadovaná hodnota od 0 do 100% celého rozsahu stupnice, ale je obvykle provozována v rozsahu 10 až 90% celého rozsahu, kde je dosaženo nejlepší přesnosti. Zařízení poté bude řídit rychlost průtoku k dané požadované hodnotě. MFC mohou být buď analogový nebo digitální. Digitální regulátor průtoku je obvykle schopen řídit více než jeden typ kapaliny, zatímco analogový regulátor je omezen na kapalinu, pro kterou byl kalibrován.

Všechny regulátory hmotnostního průtoku mají vstupní port, výstupní port, snímač hmotnostního průtoku a proporcionální regulační ventil. MFC je vybaven řídicím systémem s uzavřenou smyčkou, kterému operátor (nebo externí obvod / počítač) dává vstupní signál, který porovnává s hodnotou z snímač hmotnostního průtoku a odpovídajícím způsobem upraví proporcionální ventil, aby se dosáhlo požadovaného průtoku. Průtok je specifikován jako procento jeho kalibrovaného průtoku v plném rozsahu a je dodáván do MFC jako napěťový signál.

Regulátory hmotnostního průtoku vyžadují, aby přívodní plyn nebo kapalina byly v určitém tlakovém rozsahu. Nízký tlak způsobí hladovění MFC kapaliny a způsobí, že nedosáhne požadované hodnoty. Vysoký tlak může způsobit nepravidelné průtoky.

Viz také

Reference

  1. ^ Tison, S.A. (1996). „Kritické hodnocení měřičů tepelného hmotnostního průtoku“ (PDF). Journal of Vacuum Science & Technology A: Vacuum, Surfaces, and Films. 14 (4): 2582–2591. Bibcode:1996JVSTA..14.2582T. doi:10.1116/1.579985. ISSN  0734-2101. S2CID  39546958.

externí odkazy