Generace senzorů MEMS - MEMS sensor generations

Generace senzorů MEMS představují pokrok dosažený v mikro senzor technologie a lze je rozdělit do následujících kategorií:

1. generace

MEMS senzorový prvek většinou založený na a křemík struktura, někdy v kombinaci s analogový zesílení na a mikročip.^[1]

2. generace

MEMS senzorový prvek kombinovaný s analogovým zesílením a analogově-digitální převodník na jednom mikročipu.

3. generace

Fúze prvku senzoru s analogovým zesílením, analogově-digitálním převodníkem a digitální inteligence pro linearizaci a teplotní kompenzaci na stejném mikročipu.

4. generace

Paměťové buňky pro data kalibrace a teplotní kompenzace jsou přidány k prvkům 3. generace senzoru MEMS.

Reference