Seznam sléváren MEMS - List of MEMS foundries
Níže uvedený seznam poskytuje komplexní přehled společností, které vyvíjejí a vyrábějí MEMS (mikroelektromechanické systémy) zařízení. Tyto společnosti se obvykle označují jako koncept slévárny. Nabídka společností se liší podle použitého materiálu, objemu výroby a velikosti oplatek použitých pro výrobu.
| Společnost | Servis | Podkladové materiály | Objem výroby | Průměr oplatky (v palcích) | Typ | Země se sídlem
| |
|---|---|---|---|---|---|---|---|
| Asia Pacific Microsystems, Inc. | Slévárna MEMS | Křemík, safír, SOI, sklo, křemen, polymer, destičky CMOS | Vysoký objem výroby | 6 | Čistá hra |  Tchaj-wan | |
| Bosch | Vývoj a výroba procesů na míru MEMS. Volitelné: návrh, montáž, zkouška, integrace | Křemík, SOI, tavený oxid křemičitý nebo sklo, následné zpracování na destičkách CMOS o průměru 200 mm | Prototypování, vývoj, střední a vysoký objem | 6, 8 | IDM |  Německo | |
| CEA-LETI | Přizpůsobené MEMS, NEMS, BioMEMS: design, proces, výroba, charakterizace a balení | Křemík, SOI, sklo a destičky CMOS. | Opakované dávky výzkumu a vývoje a pilotní linka | 8, 12 | Čistá hra |  Francie | |
| Centre Suisse d'Electronique et de Microtechnique | Návrh a vývoj MEMS, přístup Lab-to-Fab. Mezi hlavní oblasti patří fotonika, mikrofluidika, komponenty hodinek a drsné prostředí. | Křemík, SOI, tavený oxid křemičitý, křemen, sklo a vlastní podklady | Prototypování, výroba malého a středního objemu | 6 | Čistá hra |  Švýcarsko | |
| Hanking Electronics | Class 100 MEMS Foundry Services, MEMS IMU (6 DoF accelerometers / gyroscopes), IoT modules and MEMS Design Services. Slévárenské procesy zahrnují; Depozice filmu, depozice kovů, tepelné zpracování, lepení destiček, procesy leptání včetně DRIE a VHF, mokré procesy a balení na úrovni destiček. | Křemík | Vysoký objem výroby | 8 | IDM |  Čína | |
| Honeywell | Výroba a design MEMS | Křemík | Vysoký objem výroby | 4, 6 | IDM |  Spojené státy | |
| IMEC | Výroba MEMS s nízkým a středním objemem (kompatibilní s CMOS), vč. zakázkový design, vývoj, post-processing a prototypování | Si, SOI, tavený oxid křemičitý nebo sklo; následné zpracování na destičkách CMOS (8 palců až 12 palců) | Prototypování, výroba malého a středního objemu; převést do slévárny pro velký objem | 8, 12 | Čistá hra |  Belgie | |
| Inovativní mikro technologie | Výroba MEMS, biočipů a fotoniky, včetně zakázkového designu, vývoje, prototypování a velkoobjemové výroby | Křemík, SOI, borosilikát, tavený oxid křemičitý, křemen, sklo, piezoelektrické a technicky připravené substráty | Vysoký objem výroby | 6, 8 | Čistá hra | Spojené státy | |
| iX-factory nyní Micronit GmbH od 03/2016 | Přizpůsobený design a výroba MEMS | Křemík a SOI, borosilikátové sklo nebo křemen, strukturovaná destička | Prototypování a střední sériová výroba | 6, 8 | Čistá hra | Německo | |
| Nanoshift LLC | Smluvní výzkum a vývoj a výroba s rozsáhlými zkušenostmi se zpracováním a integrací. Specializujeme se na MEMS, mikrofluidiku, křemíkovou fotoniku, integraci TSV, CMOS a další vznikající technologie. | Křemík, SOI, sklo, pružné podklady, polymer a další materiály. | Důkaz koncepce, vývoj procesu, prototypování, nízký až střední objem | 2, 3, 4 a 6 | IDM | Spojené státy | |
| SCL | CMOS & MEMS design, výroba a balení; mikrofabrikace | Křemík, SOI a různé brýle | Z maloobjemové výroby | 6,8 | Čistá hra |  Indie | |
| Mapovač | Vývoj a výroba procesů MEMS | Křemík, SOI a různé brýle, piezoelektrické materiály | Nízký objem a prototypování | 4 | Čistá hra |  Rusko | |
| Mikrofluidní slévárna | Návrh a výroba BioMEMS | Křemík, sklo, SU8 / PDMS, polymer | R & D, mini objemová výroba | IDM | Spojené státy | ||
| NaugaNeedles, LLC. (NN) | Slévárna MEMS, výroba MEMS | Skleněné oplatky, křemenné oplatky, křemíkové oplatky, strukturované oplatky, SOI oplatky a spojovací materiál. | Vysoký objem výroby | 6 | Čistá hra | Spojené státy | |
| nanoPHAB | Služby mikro- a nano-výroby, výroba nano-MEMS, ASIC | III-V materiály, GaAs, InP, Si, oxi-nitridy, sklo, polymery, multimateriály | Růst Epi, tvorba prototypů a poradenství. Nízká až střední objemová výroba. Přemostěte na vysokou hlasitost. | 2, 3, 4 | Pure-Play |  Holandsko | |
| NEMS a MEMS Proto Fab (NMPF) | Výroba MEMS, služby mikrofabrikace | Křemík, sklo, křemen, oplatky SOI | Nízký až střední objem a prototypování | 2, 4 | Čistá hra | Indie | |
| Inovační služby společnosti Philips | Přizpůsobené MEMS a Micro Assembly, návrh a výroba procesů, certifikované pro lékařské přístroje | Křemík, SOI, sklo, křemen a destičky CMOS. | Prototypování, výroba malého a středního objemu | 6, 8 | Čistá hra | Holandsko | |
| Mikrodevice Rogue Valley | Návrh / výroba MEMS Foundry and Silicon Wafers pro mikroelektronický a biomedicínský průmysl. Mikrozařízení Rogue Valley MEMS Foundry nabízí: rozložení masky fotografií, výroba zařízení na safíru, křemenu a keramice, výroba MEMS na destičkách CMOS, výroba pozastavené membrány, vyrovnání zepředu dozadu, kroková litografie I-Line, stříkací vrstva fotorezistu, nanášení drahých kovů a vzorování , Vícevrstvé kovové fólie včetně pájky Au / Sn, reaktivně rozprašované dielektrické a odporové materiály, depozice dielektrické fólie LPCVD a PECVD, křemičitý lept KOH a TMAH, zpracování kovových výpustí, zpracování polyamidu | Prototypování, pilotování, nízká až střední objemová výroba | 2, 4, 6, 8 | Pure-Play | Spojené státy | ||
| Semefab | Výroba MEMS | Vysoký objem výroby | 4, 6 | Čistá hra |  Spojené království | ||
| Sensera | Služby MEMS a mikrofabrikace | Prototypování, nízký, střední objem a přemostění k velkoobjemové produkci | 6; doplňkové služby mikrovýroby | Čistá hra | Spojené státy | ||
| Silex Microsystems | Vývoj a výroba procesů MEMS | Křemík, SOI, sklo | Prototypování a výroba ve velkém | 8 | Čistá hra |  Švédsko | |
| SONY | Vývoj a výroba MEMS | Křemík, SOI | Prototypování a výroba ve velkém | 6, 8 | IDM |  Japonsko | |
| STMicroelectronics | MEMS (včetně akcelerometrů, gyroskopů, digitálních kompasů, inerciálních modulů, snímačů tlaku, snímačů vlhkosti a mikrofonů) | Křemík | Vysoký objem výroby | IDM | Švýcarsko | ||
| Teledyne DALSA | Návrh a výroba MEMS s integrací jednotlivých slévárenských procesů | Křemík a polykřemík | Vysoký objem výroby | 6, 8 | Čistá hra |  Kanada | |
| Teledyne Micralyne | Návrh, výroba a balení MEMS; mikrofabrikace | Křemík, SOI a různé brýle | Od škálování až po velkoobjemovou výrobu | 6 | Čistá hra | Kanada | |
| Texas Instruments | Návrh a výroba MEMS | Křemík | Vysoký objem výroby | IDM | Spojené státy | ||
| Tower Jazz | Výroba IC | Křemík | Vysoký objem výroby | 6, 8 | Čistá hra |  Izrael | |
| Tronics | Návrh a výroba MEMS | Křemík, SOI a skleněná destička | Prototypování, výroba malého a velkého objemu | 6 | Čistá hra | Francie Spojené státy | |
| TSMC | Návrh a výroba MEMS | Křemík | Vysoký objem výroby | 6, 8, 12 | Čistá hra | Tchaj-wan | |
| uFluidix | Výroba MEMS a mikrofluidiky | Křemík, sklo, PDMS | Výroba malého a středního objemu | Čistá hra | Kanada | ||
| UMC | Výroba MEMS | Křemík | Vysoký objem výroby | 8 | Čistá hra | Tchaj-wan | |
| Xfab | Návrh a výroba MEMS | Křemík a sklo | Vysoký objem výroby | 6, 8 | Čistá hra | Německo | |
| MEMSCAP | Výroba MEMS | Hromadné mikroobrábění: Křemík, SOI Povrchové mikroobrábění: Polysilikon, nitrid, oxid, PSG Zpracování silných kovů: Cu, Au, Ni a Pt | Prototypování, nízká, střední a velká objemová výroba | 6 | Čistá hra | Francie |