Lelyho metoda - Lely method - Wikipedia

Schéma modifikované Lelyho metody ukazující grafitový kelímek obklopený indukčními cívkami pro ohřev. Karbid křemíku nabít je sublimován ze spodní části komory a uložen na horním víku, které je chladnější.

The Lelyho metoda nebo Proces Lely je růst krystalů technologie použitá k výrobě karbid křemíku krystaly pro polovodič průmysl. Patent na tento proces podal v Nizozemsku v roce 1954 a ve Spojených státech v roce 1955 Jan Anthony Lely z Philips Electronics.[1] Patent byl následně udělen dne 30. září 1958 a byl vylepšen D.R. Hamilton a kol. v roce 1960 a V.P. Novikov a V.I. Ionov v roce 1968.[2]

Přehled

Metoda Lely produkuje objemové krystaly karbidu křemíku procesem sublimace. Prášek z karbidu křemíku se vloží do grafitu kelímek, který je propláchnut argonovým plynem a zahříván na přibližně 2 500 ° C (4 530 ° F). Karbid křemíku poblíž vnějších stěn kelímku sublimuje a je uloženo na grafitové tyči poblíž středu kelímku, která má nižší teplotu.[2]

Existuje několik upravených verzí metody Lely, nejčastěji se karbid křemíku zahřívá spíše od spodního konce než od stěn kelímku a ukládá se na víko. Mezi další úpravy patří změna teploty, teplotní gradient, Argonový tlak a geometrie systému. Typicky, indukční pec se používá k dosažení požadovaných teplot 1 800–2 600 ° C (3 270–4 710 ° F).[2]:195

Viz také

Reference

  1. ^ US2854364 (A) „Lely, Jan Anthony,„ Sublimační proces výroby krystalů karbidu křemíku “, publikováno 7. března 1955, vydáno 30. září 1958 
  2. ^ A b C Byrappa, Kullaiah; Ohachi, Tadashi (2003). Technologie růstu krystalů. Springer Science & Business Media. ISBN  9783540003670. Citováno 10. září 2018.