Klaibersův zákon - Klaibers law - Wikipedia

Ultračistá instalace vody s PVDF potrubí.

Jednoduše řečeno, Klaiberův zákon navrhuje, aby „the křemíková destička velikost bude určovat největší průměr ultračistá voda přívodní potrubí potřebné v rámci a polovodičová destička továrna."

Ultračistá voda (UPW) se značně používá při výrobních krocích výroby počítačových mikročipů.[1] Tyto mikročipy jsou vyráběny na kulatých tenkých substrátech z křemíku, tzv oplatka.

Od 90. let 20. století se potrubí, tvarovky a ventily používané k přepravě UPW dramaticky zvětšily v průměru, a v důsledku toho se také zvýšil dodaný objem nebo použití galonů za minutu. Polyvinylidenfluorid (PVDF) byl materiálem volby pro větší potrubí pro dopravu UPW.[2] Na PVDF se odkazuje také v ASTM D 5127 - 07 Standardní příručka pro ultračistou vodu používanou v elektronickém a polovodičovém průmyslu[3] jako potřebné k udržení nejvyšší kvality vody.

Vztah mezi ultračistým průtokem vody a velikostí oplatky.

Na počátku 90. let se pozorování Dr. Felixe Klaibera od té doby označuje jako Klaiberův zákon.[4] Uvědomil si, že skok polovodiče z použití silikonových destiček o průměru 100 mm až 150 mm (kdy největší potrubí v systémech UPW PVDF měly vnější průměr pouze 110 mm) byl brzy následován potřebou větších 160 mm PVDF potrubí. Další skok na 200 mm křemíkové destičky o několik let později vyžadoval 225 mm PVDF potrubí. V poslední době si skok polovodiče na destičky o průměru 300 mm vyžádal potřebu ještě větších systémů UPW s vedením 315 mm.

Od dřívější postulace Dr. Klaibera byl vztah mezi velikostí destičky a průměrem potrubí PVDF sledován ostatními. Libman, et al., Aniž by o tom věděli, byl během prezentace v roce 2010 diskutován stejný postoj jako Klaiberův zákon; že současná velikost potrubí HP (s vysokou čistotou) PVDF je omezena na 12 palců (305 mm) a že historicky se velikost plátku shodovala s průměrem hlavních vedení.[5] Libman si položil otázku, zda bude trend pokračovat u destiček o průměru 450 mm.

Reference

  1. ^ Burkhart M, Wermelinger J a Klaiber F, „Je polyvinylidenfluoridové potrubí bezpečné pro aplikace v ultračisté vodě?“, MICRO, 13 (2): str. 27-31, 1995
  2. ^ Burkhart M, Wagner G a Klaiber F, „Vyluhovací charakteristiky polyvinylidenfluoridu a polypropylenu“, Ultrapure Water, květen / červen 1997: str. 30-33
  3. ^ ASTM International, 100 Barr Harbour Drive, PO Box C700, West Conshohocken, PA 19428-2959
  4. ^ Wermelinger J, Mueller HP a Burkhart M, „Nové 450 mm PVDF potrubní systémy pro dopravu vysoce čisté vody v závodech na výrobu polovodičů“, Ultrapure Water, červenec 2011: pp 15-19
  5. ^ Libman S, Buesser D a Ekberg B, „Nová generace distribučního systému UPW pro novou generaci polovodičových součástek“