Journal of Vacuum Science and Technology - Journal of Vacuum Science and Technology
| Disciplína | Fyzika |
|---|---|
| Jazyk | Angličtina |
| Upraveno podle | Eray Aydil |
| Podrobnosti o publikaci | |
| Dějiny | 1964 – dosud |
| Vydavatel | Americký fyzikální institut jménem Americká vakuová společnost (Spojené státy) |
| Frekvence | Dvouměsíčník |
| 1.710 (část A) 1,257 (část B) (2018) | |
| Standardní zkratky | |
| ISO 4 | J. Vac. Sci. Technol. |
| Indexování | |
Journal of Vacuum Science and Technology | |
| ISSN | 0022-5355 |
Journal of Vacuum Science and Technology A | |
| KÓD | JVTAD6 |
| ISSN | 0734-2101 (tisk) 1520-8559 (web) |
| LCCN | 83643441 |
| OCLC Ne. | 08697396 |
Journal of Vacuum Science and Technology B | |
| KÓD | JVTBD9 |
| ISSN | 0734-211X |
| LCCN | 83642371 |
| OCLC Ne. | 08697479 |
| Odkazy | |
)The Journal of Vacuum Science and Technology je recenzováno vědecký časopis publikováno ve dvou částech, A a Btím, že Americký fyzikální institut jménem Americká vakuová společnost. Byla založena v roce 1964 a šéfredaktor je Eray Aydil (University of Minnesota ).
Dějiny
- 1964–1982 Journal of Vacuum Science and Technology
- 1983 – dosud Journal of Vacuum Science & Technology A: Vacuum, Surfaces, and Films
- 1983–1990 Journal of Vacuum Science & Technology B: Microelectronics Processing and Phenomena
- 1991 – dosud Journal of Vacuum Science & Technology B: Microelectronics and Nanometer Structure
Část A
Část A aplikované kryty věda o povrchu, elektronické materiály a zpracování, fúzní technologie, plazmová technologie, věda o povrchu, tenké filmy, vakuová metalurgie a vakuová technologie. Podle Zprávy o citaci deníku, časopis má rok 2015 nárazový faktor 1,724.[1]
Část B
Část B pokrývá vakuum a zpracování plazmy různých materiálů, jejich strukturní charakterizace, mikrolitografie a fyzika a chemie submikrometrických a nanometrových struktur a zařízení. Podle Zprávy o citaci deníku, časopis má rok 2014 nárazový faktor z 1,398.[2]
Reference
- ^ „Journal of Vacuum Science and Technology, Part A“. Zprávy z roku 2015 o citaci deníku. Web vědy (Science ed.). Thomson Reuters. 2016.
- ^ „Journal of Vacuum Science and Technology, Part B“. Zprávy z roku 2015 o citaci deníku. Web vědy (Science ed.). Thomson Reuters. 2016.