Doping laserem s plynovým ponorem - Gas immersion laser doping

Doping laserem s plynovým ponorem (POZLATIT) je metoda doping A polovodič materiál jako např křemík.

V případě dopování křemíku bórem k vytvoření a Polovodič typu P. materiál, tenký oplatka křemíku je umístěn v zadržovací komoře a je ponořen do boru. Pulzní laser je směrován na křemíkovou destičku, což má za následek lokalizované tavení a následnou rekrystalizaci materiálu křemíkové destičky, což umožňuje atomům boru v plynu difundovat do roztavených částí křemíkové destičky.^[1] Konečným výsledkem tohoto procesu je křemíková destička s borovými nečistotami, která vytváří polovodič typu P.

Reference

Další čtení

• https://web.archive.org/web/20061125030611/http://physicsweb.org/articles/news/10/11/19/1%7B%7Bfull nutná citace | datum = říjen 2017}}
• Carey, P.G .; Sigmon, T. W. (1989). „Dopování křemíku in situ pomocí procesu dopingu laserovým ponorem (GILD)“. Aplikovaná věda o povrchu. 43 (1–4): 325–32. Bibcode:1989ApSS ... 43..325C. doi:10.1016/0169-4332(89)90234-1.
• Weiner, K.H; Sigmon, T. W. (1989). „Výroba bipolárních tranzistorů na tenké bázi pomocí dopingového laserového dopingu“. IEEE Electron Device Dopisy. 10 (6): 260–3. Bibcode:1989IEDL ... 10..260W. doi:10.1109/55.31740. S2CID  6761098.
• Kerrien, G; Sarnet, T; Débarre, D; Boulmer, J; Hernandez, M; Laviron, C; Semeria, M.-N (2004). "Doping laserovým ponorem (GILD) pro vytvoření velmi mělkého spojení". Tenké pevné filmy. 453-454: 106–9. Bibcode:2004TSF ... 453..106K. doi:10.1016 / j.tsf.2003.11.151.

Tento fyzika kondenzovaných látek související článek je a pahýl. Wikipedii můžete pomoci pomocí rozšiřovat to.