FOUP - FOUP

FOUP je zkratka pro Front Ópening Unified Pod[1] nebo Front Ópening Universal Pod.[2]

Jedná se o speciální plastový kryt určený k uchycení křemík oplatky bezpečně a bezpečně v kontrolovaném prostředí a umožnit přenos destiček mezi stroji za účelem zpracování nebo měření.[3] FOUP se začaly objevovat spolu s prvními 300mm nástroji na zpracování destiček v polovině 90. let. To znamenalo velikost destiček a jejich srovnávací nedostatek tuhosti SMIF nebyla životaschopná technologie. FOUP byly navrženy s ohledem na omezení 300 mm, přičemž odnímatelná kazeta byla nahrazena žebry v FOUP, které drží oplatky na místě, a spodní otevírací dveře byly nahrazeny předními otevíracími dvířky, aby umožňovaly manipulačním mechanismům robota přístup k oplatkám přímo z FOUP. Hmotnost plně naloženého 25-oplatkového FOUPu kolem 9 kilogramů znamená, že automatizované systémy pro manipulaci s materiálem jsou nezbytné pro všechny výrobní závody kromě těch nejmenších.[Citace je zapotřebí ] Aby to bylo možné, má každý FOUP různé spojovací desky, čepy a otvory, které umožňují umístění FOUP na nákladovém portu a manipulaci s ním AMHS (Automatizovaný systém manipulace s materiálem ). FOUP mohou také obsahovat RF tagy, které jim umožňují identifikaci čtenáři na nástrojích, v AMHS atd.[Citace je zapotřebí ] FOUPs jsou k dispozici v několika barvách, v závislosti na přání zákazníka. FOUPs a IC výrobní zařízení mohou mít dusíkovou atmosféru, ve snaze zvýšit zařízení výtěžek.[4][5]

FOSB

Přední otevírací přepravní box (přední strana)

FOSB je zkratka pro Front Ópening Shipping Bvůl, se používá k přenosu destiček mezi výrobními zařízeními.[1]

Výrobci

Viz také

Reference

  1. ^ A b Yoshio Nishi; Robert Doering (9. července 2007). Příručka technologie výroby polovodičů, druhé vydání. CRC Press. str. 33–. ISBN  978-1-4200-1766-3.
  2. ^ Michail Baklanov; Paul S. Ho; Ehrenfried Zschech (17. února 2012). Pokročilé propojení pro technologii ULSI. John Wiley & Sons. str. 291–. ISBN  978-1-119-96686-9.
  3. ^ Lars Mönch; John W. Fowler; Scott Mason (12. září 2012). Plánování a řízení výroby zařízení pro výrobu polovodičových destiček: modelování, analýza a systémy. Springer Science & Business Media. str. 144–. ISBN  978-1-4614-4471-8.
  4. ^ „Systém FOUP Purge - Fabmatics GmbH: Automatizace manipulace s materiálem pro polovodičový průmysl“. www.fabmatics.com.
  5. ^ „Byly spuštěny nové modely TDK pro čištění dusíku FOUP Loadport“. www.businesswire.com. 3. července 2013.