Detektor Everhart-Thornley - Everhart-Thornley detector

The Detektor Everhart-Thornley (Detektor E-T nebo Detektor ET) je sekundární elektron a zpětně rozptýlený elektron detektor použito v rastrovací elektronové mikroskopy (SEM). Je pojmenována po svých designérech, Thomas E. Everhart a Richard F. M. Thornley kteří v roce 1960 zveřejnili svůj návrh na zvýšení účinnosti stávajících detektorů sekundárních elektronů přidáním světelné trubice k přenosu fotonového signálu ze scintilátoru uvnitř evakuované komory pro vzorky SEM do fotonásobič mimo komoru.^[1] Před tím Everhart vylepšil design pro detekci sekundárních elektronů pomocí Vladimir Zworykin a Jan A. Rajchman změnou elektronového multiplikátoru na fotonásobič. Detektor Everhart-Thornley s jeho světlovodem a vysoce účinným fotonásobičem je nejčastěji používaným detektorem v SEM.

Detektor se skládá především z a scintilátor uvnitř a Faradayova klec uvnitř komory pro vzorky mikroskopu. Nízká kladná hodnota Napětí se aplikuje na Faradayovu klec, aby přilákala relativně nízkou energii (méně než 50%) eV podle definice) sekundární elektrony. Ostatní elektrony v komoře na vzorky nejsou tímto nízkým napětím přitahovány a k detektoru se dostanou, pouze pokud je jejich směr pohybu přivede k němu. Scintilátor má vysoké kladné napětí (v podstatě 10 000 V), aby urychlil přicházející elektrony do něj, kde je lze převést na světelné fotony.^[2] Směr jejich pohybu je zaměřen na světlovod pomocí kovového povlaku na scintilátoru, který působí jako zrcadlo. Ve světelné trubici fotony cestují mimo vakuovou komoru mikroskopu do zesilovače fotonásobiče.

Detektor sekundárních elektronů E-T lze použít v režimu zpětně rozptýleného elektronu SEM buď vypnutím Faradayovy klece, nebo přivedením záporného napětí do Faradayovy klece. Lepší zpětně rozptýlené elektronové obrazy však pocházejí spíše z vyhrazených detektorů BSE než z použití detektoru E-T jako detektoru BSE.

Reference