Kaskádový zdroj plazmového oblouku - Cascaded Arc Plasma Source
 | tento článek má nejasný styl citace. (Září 2012) (Zjistěte, jak a kdy odstranit tuto zprávu šablony) |
The kaskádový oblouk je stěnově stabilizovaný tepelný elektrický oblouk výboj, který produkuje vysokou hustotu a nízkou teplotu plazma.
Všeobecné
Kaskádový zdroj oblouku vyvinutý na Eindhoven University of Technology,[1][2] je zobrazen na obrázku níže. Ve srovnání se zdroji plazmy v jiných lineárních generátorech plazmy může tento zdroj produkovat argonová a vodíková plazma o vysoké hustotě (10)21 – 1024 a 1019 – 1022 m−3) na relativně nízké úrovni teplota elektronů (~ 1 eV). Vzhledem k vysoké frekvenci srážek částic ve zdroji je plazma v tepelné rovnováze a přiměřeně homogenní.
Kaskádový oblouk se skládá ze vstupu plynu, tři wolfram katody, kaskádové desky, tryska a anoda. Prostřednictvím vstupu plynu může pracovní plyn - argon nebo vodík - proudit do katodové komory. Zdroj obvykle běží na 0,5–3,0slm (2.2×1020 – 1.3×1020 částice za sekundu) a výbojový proud 100–300 A. Kaskádové desky mezi katodou a anodou jsou navzájem elektricky izolovány o tloušťce 1 mm Nitrid boru desky. The Napětí těchto desek je plovoucí potenciál. Tryska i anoda jsou uzemněny.
Viz také
externí odkazy
- Svítící jednotka
- VYSOKÝ JAS H-POVRCHOVÉ PLAZMOVÉ ZDROJE
- Produkce H v čistých vodíkových výbojích zdrojů povrchové plazmy