Boule (krystal) - Boule (crystal)
A boule je monokrystal ingot vyrobené syntetickými prostředky.[1]
Koule křemík je výchozím materiálem pro většinu z integrované obvody používá se dnes. V polovodič průmyslové syntetické boule lze vyrobit řadou metod, například Bridgmanova technika[2] a Czochralského proces, jejichž výsledkem je válcová tyč materiálu.
V procesu Czochralski a semenný krystal je zapotřebí k vytvoření většího krystalu nebo ingotu. Tento očkovací krystal se ponoří do čistého roztaveného křemíku a pomalu se extrahuje. Roztavený křemík roste na očkovacím krystalu krystalickým způsobem. Jak se semeno extrahuje, křemík ztuhne a nakonec se vytvoří velký, válcovitý boule.[3]
Polovodičový krystalický boule je obvykle rozřezán na kruhový tvar oplatky pomocí vnitřního otvoru diamantová pila nebo diamant drátěná pila a každá oplatka je lapovaný a leštěné, aby poskytly substráty vhodné pro výrobu polovodičová zařízení na jeho povrchu.[4]
Tento proces se také používá k vytvoření safíry, které se používají jako substráty při výrobě modré a bílé LED diody, optická okna ve speciálních aplikacích a jako ochranné kryty pro hodinky.[5]
Reference
- ^ Kimoto, Tsunenobu; Cooper, James A. (24. listopadu 2014). Základy technologie karbidu křemíku: růst, charakterizace. ISBN 9781118313527. Citováno 1. březen, 2017.
- ^ Dhanaraj, Govindhan; Byrappa, Kullaiah; Prasad, Vishwanath; Dudley, Michael (2010). Springer Handbook of Crystal Growth. ISBN 9783540747611. Citováno 25. února 2017.
- ^ Rea, Samuel N. (1978). „Kontinuální vývoj procesu Czochralski“. Citováno 1. březen, 2017.
- ^ BOSE (2013). Technologie IC výroby. McGraw Hill Education (India) Pvt Ltd. str. 53. ISBN 978-1-259-02958-5.
- ^ J.-P. Colinge (29. února 2004). Technologie Silicon-on-Insulator: Materials to VLSI: Materials to Vlsi. Springer Science & Business Media. str. 12. ISBN 978-1-4020-7773-9.