Mikroobráběcí systémy Alcatel - Alcatel Micro Machining Systems

Mikroobráběcí systémy Alcatel (AMMS) byl francouzský výrobce Hluboké reaktivní iontové leptání systémy. Sídlo společnosti bylo umístěno v Annecy, Francie.

Dějiny

Vakuová technologie Alcatel „Původní mateřská společnost AMMS měla dlouhodobé podnikání ve zpracování plazmy. Jeho první zařízení založené na patentovaném Alcatel Indukční vázaná plazma (ICP) zdroj s nezávislým zdrojem energie a regulací zkreslení substrátu pro hluboké leptání křemíku byl spuštěn v roce 1993. AMMS byla vytvořena jako dceřiná společnost v roce 2006, aby se zaměřila na leptání křemíkem.[1]

Alcatel Micro Machining Systems fungoval do roku 2008, kdy byl prodán společnosti Tegal.[1] V roce 2011 získala společnost SPTS aktiva DRIE společnosti Tegal (dříve AMMS).[2] Dohoda zahrnovala převod základního kapitálu a operací společnosti Tegal France SAS, stoprocentní dceřiné společnosti Tegal, na SPTS.

produkty

Společnost dříve vyráběla DRIE systémy včetně:

  • Bez zářezů
  • Ovládání profilu
  • Suché uvolnění
  • Patentovaný proces Sharp: Super vysoký poměr stran
  • Zúžené přes
  • Vysoká rychlost leptání
  • Tvar V.
  • Proces kryo
  • Přes oplatku
  • Vysoká rychlost leptání a nízká drsnost
  • Vysoký poměr stran pro 3D
  • Tavený křemičitý lept
  • Nízká hladkost
  • Otvory s vysokým poměrem stran

Viz také

Reference

  1. ^ A b "Historie Adixen". adixen.fr. Adixen. Archivovány od originál dne 16. dubna 2015. Citováno 31. července 2015.
  2. ^ „Tegal prodává aktiva DRIE SPTS“. businesswire.com. Tisková zpráva. Citováno 31. července 2015.